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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.4
- 수록면
- 121 - 128 (8page)
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As high precision industries such as semiconductor, TFT-LCD manufacturing and MEMS continue to grow, the demand for higher DOF precision stages has been increasing. In general, the stages should accommodate a prescribed range of payloads in order to position various precision manufacturing/inspection instruments. Therefore a nonlinear controller using sliding motion is developed, which bears mass perturbation and makes the upper plate of the stage move in 6 DOF. For the application of the nonlinear control, an observer is also developed based on expected noise covariance. To eliminate the steady state error of step response, integral terms are inserted into the state-space model. The linear term of the controller is designed using optimization scheme in which parameters can be weighted according to their physical significance, whereas the nonlinear term of the controller is designed using trial and error method. A comprehensive simulation study proves that the designed controller is robust against mass perturbation and completely eliminates steady state errors.
목차
Abstract
1. 서론
2. 질량변동을 고려한 6자유도 스테이지의 모델링
3. 제어기의 설계
4. 질량과 회전관성의 변화에 따른 제어성능 고찰
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (18)
참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - Gordon, C. G. / 1991 / Generic Criteria for Vibration-Sensitive Equipment / Proc. of International Society for Optical Engineering (SPIE) : 71 ~ 85
2. [학술지(정기간행물)] - Shan, X. / 2002 / Ultra Precision Motion Control of a Multiple Degrees of Freedom Magnetic Suspension Stage / IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 7 (1) : 67 ~ 78
3. [학술지(정기간행물)] - Sugihara, K. / 1989 / Piezoelectrically driven XY table for submicron lithography systems / Rev Scientific Instruments 60 (9) : 3024 ~ 3029
4. [학술지(정기간행물)] - Smith, A. R. / 1994 / A New High-Resolution Two-Dimensional Micropositioning Device for Scanning Probe Microscopy Applications / Rev. of Scientific Instruments 65 (10) : 3216 ~ 3219
5. [학술대회논문] - Muthuswamy, J. / 2002 / A Chronic Micropositioning System for Neurophysiology / Proc the Second Joint EMBS/BMES Conference : 2115 ~ 2116
2. [학술지(정기간행물)] - Shan, X. / 2002 / Ultra Precision Motion Control of a Multiple Degrees of Freedom Magnetic Suspension Stage / IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 7 (1) : 67 ~ 78
3. [학술지(정기간행물)] - Sugihara, K. / 1989 / Piezoelectrically driven XY table for submicron lithography systems / Rev Scientific Instruments 60 (9) : 3024 ~ 3029
4. [학술지(정기간행물)] - Smith, A. R. / 1994 / A New High-Resolution Two-Dimensional Micropositioning Device for Scanning Probe Microscopy Applications / Rev. of Scientific Instruments 65 (10) : 3216 ~ 3219
5. [학술대회논문] - Muthuswamy, J. / 2002 / A Chronic Micropositioning System for Neurophysiology / Proc the Second Joint EMBS/BMES Conference : 2115 ~ 2116
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