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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.5
- 수록면
- 495 - 501 (7page)
이용수
초록· 키워드
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나노간극에서 발생하는 전기방전에 대해서 실험적으로 연구하고 그 결과를 분석하였다. Pt-Ir 합금으로 구성된 음극과 금으로 박막코팅된 양극사이에 전기방전을 하였다. 음극과 양극에서 전기장을 10V~80V 범위에서 제어하였으며, 간극은 50㎚ 에서 800㎚ 로 제어하였다. 이때 발생된 전기방전신호, 쇼트신호 등은 간접적으로 나노간극에서 발생하는 현상들을 이해할 수 있었다. 실험결과 전기방전은 전기장과 음극의 전극첨단의 반경에 매우 밀접하게 관련이 있었다. 작은 간극에서 발생하는 전기방전은 비교적 산포도가 크고 랜덤한 형태를 보였으며 음극 전극첨단의 반경에 민감하게 반응하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 실험의 방법
3. 실험의 결과
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (5)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Slade, P.G / 2002 / Electrical Breakdown in Atmospheric Air Between Closely Spaced (0.μm-40μm) Electrical Contacts / IEEE Trans. Compon. Packaging Technol 25 (3) : 390 ~ 396
2. [학술지(정기간행물)] - Purcell, S.T / 2001 / Atomic-Size Metal Ion Sources: Principles and Use / Nanotechnology 12 : 168 ~ 172
3. [학술지(정기간행물)] - Walrave, J. A / 2003 / Electrostatic Discharge/Electrical Overstress Susceptibility in MEMS: a New Failure Mode / Proc. SPIE : 30 ~
4. [학술대회논문] - Dickrell, D. J / 2005 / The Effects of Surface Contamination on Resistance Degradation of Hot-Switched Low-Force MEMS / Proc. of the 5th IEEE Holm conference : 255 ~ 258
5. [학술지(정기간행물)] - Farson, D / 2006 / Electrical Discharges Between Platinum Nanoprobe Tips and Gold Films at Nanometer Gap Lengths / Nanotechnology 17 : 132 ~ 139
2. [학술지(정기간행물)] - Purcell, S.T / 2001 / Atomic-Size Metal Ion Sources: Principles and Use / Nanotechnology 12 : 168 ~ 172
3. [학술지(정기간행물)] - Walrave, J. A / 2003 / Electrostatic Discharge/Electrical Overstress Susceptibility in MEMS: a New Failure Mode / Proc. SPIE : 30 ~
4. [학술대회논문] - Dickrell, D. J / 2005 / The Effects of Surface Contamination on Resistance Degradation of Hot-Switched Low-Force MEMS / Proc. of the 5th IEEE Holm conference : 255 ~ 258
5. [학술지(정기간행물)] - Farson, D / 2006 / Electrical Discharges Between Platinum Nanoprobe Tips and Gold Films at Nanometer Gap Lengths / Nanotechnology 17 : 132 ~ 139
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