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저자정보
최성진 (충남대학교) 송희은 (한국에너지기술연구원) 유권종 (한국에너지기술연구원) 이희덕 (충남대학교)
저널정보
한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 학술대회논문집 한국태양에너지학회 2011년도 춘계학술발표대회 논문집
발행연도
2011.4
수록면
105 - 110 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

단결정 실리콘 태양전지 도핑 확산 공정에서 주입되는 O₂ 가스와 PSG 유무에 따른 특성 변화
최성진 ,  송희은 ,  유권종 외 1명 한국태양에너지학회 학술대회논문집 2011.04 학술대회자료
단결정 실리콘 태양전지의 도핑 최적화를 위한 확산 온도에 대한 연구
최성진 ,  송희은 ,  유권종 외 4명 한국태양에너지학회 논문집 2011.02 학술저널

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The doping procedure in crystalline silicon solar cell fabrication usually contains oxygen injection during drive-in process and removal of phosphorous silicate glass(PSG). In this paper, we studied the effect of oxygen injection and PSG on conversion efficiency of solar cell. The mono crystalline silicon wafers with 156 × 156 ㎟, 200 ㎛, 0.5-3.0 Ωㆍ㎝ and p-type were used. After etching 7 ㎛ of the surface to form the pyramidal structure. the P(phosphorous) was injected into silicon wafer using diffusion furnace to make the emitter layer. After then, the silicon nitride was deposited by the PECVD with 80 ㎚ thickness and 2.1 refractive index. The silver and aluminium electrodes for front and back sheet, respectively. were formed by screen-printing method, followed by firing in 400-425-450-550-880 ℃ five-zone temperature conditions to make the ohmic contact.
Solar cells with four different types were fabricated with/without oxygen injection and PSG removal. Solar cell that injected oxygen during the drive-in process and removed PSG after doping process showed the 17.9 % conversion efficiency which is best in this study. This solar cells showed 35.5 ㎃/㎠ of the current density, 632㎷ of the open circuit voltage and 79.5 % of the fill factor.
#태양전지(Solar cell) #확산 공정(drive-in process) #질화실리콘(silicon nitride) #저항성 접촉(Ohmic contact) #변환 효율(conversion efficiency)

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
후기
참고문헌

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