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오성진 (금오공과대학교) 함영복 (한국기계연구원) 박중호 (한국기계연구원) 윤소남 (한국기계연구원) 김성동 (금오공과대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2011.5
수록면
338 - 341 (4page)

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A small sized pump using a bimorph type piezoelectric actuator is described in this paper. The design, fabrication and pumping performance of the piezoelectric pump are summarized. The fabricated pump consists of a piezoelectric actuator, two sheet type check valves and pump bodies The overall dimensions of the pump are 43 ㎜ * 43 ㎜ * 13 ㎜. The diaphragm shaped actuator consists of a metal shim and two piezo-ceramic disks. A diameter of 30 ㎜ and thickness of 0.1 ㎜ metal shim was made of bronze. Two piezo-ceramic disks 25 ㎜ in diameter and 0.2 ㎜ in thickness were bonded on topside and bottom of the metal shim. The sheet type check valves to control flow direction in inlet and outlet, with thickness 80 ㎛, were designed and fabricated. The pumping experiments were performed with a tap water as the working fluid. The fabricated piezoelectric pump achieved no-load flow rate of 350 ㎖/min, maximum output pressure of 33 ㎪ at the applied sinusoidal voltage of 300 V<SUB>pp</SUB> and driving frequency of 150 ㎐.
#Diaphragm pump(다이아프램 펌프) #Piezoelectric actuator(압전 액추에이터) #Bimorph PZT(바이몰프형 PZT) #Check valve(체크밸브) #압전 세라믹(Piezo ceramic)

목차

Abstract
1. 서론
2. 압전펌프의 설계 및 제작
3. 압전펌프의 토출특성
4. 결론
후기
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