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자료유형
학술저널
저자정보
후지타 카즈히사 (나고야공업대학교) 양영준 (경남과학기술대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제10권 제4호
발행연도
2011.8
수록면
96 - 101 (6page)

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The thin films of TiN have been used extensively as wear-resistant materials, for instance, such as tools of high-speed cutting, metal mold forming etc. In these days, because the thin films capable of being used more severe conditions are needed, the technologies of arc ion plating are tried to improve its characteristics. The purpose of this study is to investigate the characteristics of thin films of (Ti,Cr)N compared with those of TiN. The method of arc ion plating, which is known as showing good tight-adherence and productivity, was used. After manufacturing thin films of (Ti<SUB>1-x</SUB>Cr<SUB>x</SUB>)N (x=0~1) with change of Cr in (Ti,Cr) target, atomic concentration, structure, size of crystallite, residual stress and surface roughness of thin films on substrate were investigated. As the results, it was confirmed that Cr atomic concentrations of thin films were proportionally changed with Cr atomic concentrations of target, and thin films of (Ti<SUB>1-x</SUB>Cr<SUB>x</SUB>)N (x=0~1) showed NaCl type and CrN existed as solid solution to TiN.
#Thin Film(박막) #Surface Treatment(표면처리) #AIP(아크이온플레이팅) #TiN(질화티탄) #Wear-resistant(내마모성) #Thin Film of(Ti,Cr)N(질화 티탄-크롬 박막)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (12)

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3. [학술지(정기간행물)] - 김형선 / 2009 / Ti-6Al-4V 티타늄 합금나사의 절삭 특성 / 한국생산제조시스템학회지 18 (5) : 514 ~ 520 dbpia 4. [기타자료] - Kim,H.J / 2007 / Effects of deposition parameters in arcion plating on the surface characteristics of TiN-coated high speed steel / GNU google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 류성기 / 2003 / 세라믹 코팅이 기계 주조용 알루미늄합금(7075 T6)의 마찰·마모특성에 미치는 영향에 관한 연구 / 한국안전학회지 18 (3) : 14 ~ 21 dbpia 7. [학술지(정기간행물)] - Li, M. / 2000 / An experimental investigation on cut surface and burr in trimming aluminum autobody sheet / International Journal of Mechanical Sciences 42 : 889 ~ 906 google schola 9. [기타자료] - Johnson, P.C. / 1989 / Physics of thin films google schola

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