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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.3
- 수록면
- 9 - 14 (6page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2004
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목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (6)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - Xinxin Li / 2000. / Fabrication and characterization of nickel-induced laterally crystallized polycrystalline silicon piezo-resistive sensors 82 : 281 ~ 285
[학술지(정기간행물)] - Gwiy-Sang Chung / 2001. / The Effect of Pyrazine on TMAH：IPA Singal-Crystal Silicon Anisotropic Etching Properties 2 (2) : 21 ~ 25
[학술지(정기간행물)] - S. Brida, / April,1999 / Optimization of TMAH etching for MEMS
[학술지(정기간행물)] - U.Schnakenberg / 1991 / TMAH etchants for Silicon micromachining proc. 6th Int'l. Conf. On Solid-State Sensors and Actuators : 815 ~
[학술지(정기간행물)] - 정귀상 / 1997. / TMAH/IPA의 실리콘 이 방성 식각특성 Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 10 (5) : 481 ~ 486
[학술지(정기간행물)] - Gwiy-Sang Chung / 2001. / The Effect of Pyrazine on TMAH：IPA Singal-Crystal Silicon Anisotropic Etching Properties 2 (2) : 21 ~ 25
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