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박막제조 기술은 과학 기술의 기초가 되는 분야로 양질의 박막을 제조하기 위한 다양한 노력이 경주되고 있다. 박막제조는 표면개질과 함께 표면처리 기술의 한 분야이며 이중 진공증착으로 알려진 물리증착법과 화학증착법은 현대의 과학기술 연구는 물론 산업적으로 폭넓게 이용되는 박막제조 기술 중의 하나이다. 진공증착을 이용한 박막제조 기술은 나노 기술의 등장과 함께 비약적인 발전을 이루었으며 자연모사와 완전화 박막의 제조, 융복합 공정을 이용한 기능성 코팅과 Engineered Structure 구현 그리고 초고속 증착과 원가 저감 기술의 실현이 주요 이슈로 등장하고 있다. 본 논문에서는 물리증착법과 화학증착법을 중심으로 박막제조 기술의 종류와 원리를 설명하고 박막제조 기술의 최신 동향과 기술적 이슈 및 향후 전망에 대해 기술한다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 박막제조 기술의 분류와 원리
Ⅲ. 진공증착에 의한 박막제조 기술의 동향
Ⅳ. 진공증착에 의한 박막제조 기술의 주요 이슈 및 전망
Ⅴ. 결론
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참고문헌
참고문헌 (29)
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1. [단행본] - P. M. Martin / 2005 / Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings / Elsevier, Amsterdam
2. [단행본] - R. F. Bunshah / 1994 / Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings, 2nd Ed / Noyes Publications, Berkshire
3. [학술지(정기간행물)] - B. A. Movchan / 1969 / / Phys. Met. Metallogr 28 : 83 ~
4. [학술지(정기간행물)] - J. A. Thornton / 1977 / / Ann. Rev. Mater. Sci 7 : 239 ~
5. [학술지(정기간행물)] - P. B. Barna / 1998 / / Thin Solid Films 317 : 27 ~
2. [단행본] - R. F. Bunshah / 1994 / Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings, 2nd Ed / Noyes Publications, Berkshire
3. [학술지(정기간행물)] - B. A. Movchan / 1969 / / Phys. Met. Metallogr 28 : 83 ~
4. [학술지(정기간행물)] - J. A. Thornton / 1977 / / Ann. Rev. Mater. Sci 7 : 239 ~
5. [학술지(정기간행물)] - P. B. Barna / 1998 / / Thin Solid Films 317 : 27 ~
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