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학술저널
저자정보
양영환 (한국세라믹기술원) 여인웅 (현대·기아) 박상진 (현대하이스코) 임대순 (고려대학교) 오윤석 (한국세라믹기술원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제44권 제6호
발행연도
2011.12
수록면
269 - 276 (8page)

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Phase evolution and tribological behavior of Cr-Mo-N multi compositional films with different interlayer were investigated. The films were deposited by hybrid PVD (Physical Vapor Deposition) system consisted of dc unbalanced magnetron (UBM) sputtering and arc ion plating (AIP) sources. A pure molybdenum (Mo) was used as sputtering target and also a pure Cr was used as AIP target to form the Cr-Mo-N films. Various growth planes were found, no textured surface, in all of the multi composition films. Maximum value of microhardness was measured in Cr-Mo-N film with Mo interlayer as 29 GPa. Composition film was mainly showed the aspect of the adhesive wear than CrN film. The friction coefficient was decreased from 0.6 for pure CrN coating to 0.35 for Cr-Mo-N film with Mo interlayer. This result may come from the formation of metal oxide tribo-layer which is known as solid lubricant during the wear test.
#Cr-Mo-N #Interlayer #Hybrid PVD #Tribology #Solid lubrication

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (23)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 이상율 / 2006 / 복합표면처리된 CrN박막의 밀착력에 미치는 스퍼터링 효과에 관한 연구 / 한국표면공학회지 39 (1) : 1 ~ 8 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - F. R. Lamastra / 2006 / / Surf. Coat. Technol 200 : 6172 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - B. Casas / 2006 / / J. Mater. Sci 41 : 5123 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - C. P. Mulligan / 2008 / / Surf. Coat. Technol 203 : 584 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - A. Thobor-Keck / 2005 / / Surf. Coat. Technol 200 : 264 ~ google schola

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