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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
신보성 (부산대학교) 이정한 (부산대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제11권 제1호
발행연도
2012.2
수록면
62 - 67 (6page)

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Recently UV laser is widely used to process micro parts using various materials such as polymers, metals and ceramics because it has a very high intensity at the focused spot area. It is generally known that there are still some difficulties for alumina(Al₂O₃) ceramics to directly make micro patterns like holes and lines on the surface of working material using 355nm UV laser because the alumina has a very low absorption coefficient at that wavelength. But nowadays new alumna with nano-porous holes is developed and applied to advanced micro functional parts of IT, BT and BT industries. In this paper, we are going to show the mechanism of photo-thermal ablation for nano-porous ceramics. Inside hole there is a lot of multiple reflections along the depth of hole. Experimentally we can find the micro hole drilling and micro grooving on the surface of nano-porous alumina.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 이론적 접근
3. 실험장치 및 방법
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌

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