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이용수
Abstract
1 Introduction
2 Design and Fabrication
3 Test and Evaluation
4 Conclusions
References
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MEMS : From Research to Applications
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
단순빔형 MEMS 스위치를 위한 새로운 고효율 제조 공정 개발
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2008 .06
Low Pull-in Voltage MEMS Switches for Wireless Applications
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2002 .07
Single crystalline silicon RF MEMS switch for high power applications
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2014 .10
MEMS 기술에 의한 광스위치의 제조 ( Fabrication of Optical Switches Using MEMS Technology )
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2011 .01
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2004 .01
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