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학술저널
저자정보
이규훈 (충북대) 이응석 (충북대) 이민기 (충북대) 김진수 (충북대) 배일진 (SNC)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.21 No.2
발행연도
2012.4
수록면
311 - 315 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2012

반도체 약액용 자동제어 플라스틱 밸브의 내부 유동해석
이규훈 ,  이응석 ,  이민기 외 2명 한국생산제조학회지 2012.04 학술저널

2011

반도체 약액용 자동제어 플라스틱 밸브의 내부 유동해석
이규훈 ,  이응석 ,  이민기 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2011.04 학술대회자료

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Diaphragm type noncontact automatic control valve is a valve for controling acidic PR(Photo Resist) liquid used in the semiconductor process. PR is photosensitive liquid that changes phases depending on lignt transmittance. PR is very toxic and expensive; the purpose of this paper is to address methods that prevent loss due to leaks. The design of noncontact precise automatic control valve is expected to play an important role in controlling fluid flow, therefore influencing energy conservation and environmental improvement. In this paper, diaphragm type automatic control valve’s part design, assembly and simulation are introduced. Also, through the analysis of fluid flow the valve’s internal velocity, pressure, and turbulent intensity are interpreted. This paper proposes to contribute to the improvement of the valve’s performance.
#Diaphragm(격판) #Automatic control valve(자동제어 밸브) #Photo resist(포토레지스트) #Fluid flow(유체유동)

목차

Abstract
1. 서론
2. 자동 제어 밸브 설계
3. 작동 유체 simulaltion
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (7)

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2. [학술지(정기간행물)] - Goldenberg, A. A / 1985 / A Preview Approach to Force Control of Robot Manipulators / Mechanism and Machine Theory 20 (5) : 449 ~ 464 google schola 3. [단행본] - Massey, B. S / 1989 / Mechanics of Fluid / Chapman and hall : 273 ~ 300 google schola 4. [단행본] - White, F. M / 1974 / Viscous Fluid Flow / McGraw-Hill : 163 ~ 189 google schola 5. [단행본] - Bernard, P / 2002 / Turbulent Flow : Analysis, Measurment, and Prediction / Wiley : 156 ~ 211 google schola 6. [기타자료] - ANSYS / 2005 / Ansys Fluent Manual : GAMNIT 2.x Basic Training Notes / ATES google schola

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