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이용수
1. 서론
2. 바이몰프형 압전소자를 이용한 압전펌프
3. 적층형 압전소자를 이용한 압전펌프
4. 결론
참고 문헌
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2000 .11
압전 구동기를 이용한 마이크로 펌프의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
압전식 마이크로펌프 개발
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대한기계학회 논문집 B권
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