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한국추진공학회 한국추진공학회 학술대회논문집 한국추진공학회 2011년도 제37회 추계학술대회 논문집, Nov
발행연도
2011.11
수록면
493 - 496 (4page)

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본 논문은 이온빔 기술에 대하여 발표된 논문을 중심으로 조사하였다. 이온빔의 기술은 기질이나 가공물에서 표면을 깎아내는 기법과 이와 반대로 표면에 이온을 증착 개질 시키는 두 가지로 크게 대별할 수 있고 문헌상으로는 후자가 더욱 활발하다.
#Ion Beam Milling(이온빔 밀링) #Ion Beam Deposition(이온빔 증착) #Focused Ion Beam(집속 이온빔)

목차

ABSTRACT
초록
1. 서론
2. 삭마형 이온빔 가공
3. 이온빔 증착 기술
4. 학술 정보 분석
결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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