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목차
세계적으로 주목받는‘나노임프린트 기술’
노광공정 기술을 대체할 나노임프린트 공정
기술력 향상과 산업화를 위한 연구소·대학·산업계 동향
나노임프린트 기술로 새로운 제품 시장 창출기대
참고문헌 (0)
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이 논문과 함께 이용한 논문
나노임프린트 리소그래피 기술 동향
정준호
,
신영재
,
이응숙
외 1명
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003
.03
대면적 롤 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술
임형준
,
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2015
.04
3차원적 전류 흐름을 고려한 FinFET의 기생 Source/Drain 저항 모델링
안태윤
,
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전자공학회논문지
2013
.10
몰드형상에 따른 나노임프린트 점탄성 유한요소해석
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,
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2010
.11
hard stamp를 이용한 임프린팅 공정에 대한 신뢰성 고찰
김민선
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,
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외 1명
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2009
.08
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