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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김준현 (서울과학기술대학교)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.21 No.3
발행연도
2012.6
수록면
401 - 407 (7page)

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The recent manufacturing process in the thin wafers and flat panel necessitate new approaches to reduce handling fragile and surface-sensitive damage of components. This paper presents a new pneumatic levitation for non-contact handling of parts and substrates. This levitation can achieve non-contact handling by blowing air into an air pressure pick-up head with radial passages to generate a negative pressure region. Negative pressure is caused by the radial air flow by nozzle throat and through holes connecting to the bottom region. The numerical analysis deals with the levitational motion with different design factors. The dynamic motion is examined in terms of force balance(dynamic equilibrium) occurring to the flow field between two objects. The stable equilibrium position and the safe separation distance are determined by analyzing the local pressure distribution in the fluid motion. They make considerable design factors consisting the air pressure pick-up head. As a result, in case that the safe separation distance is beyond 0.7mm, the proposed pick-up head can levitate stably at the equilibrium position. Furthermore, it can provide little effect of torque, and obtain more wide picking region according to the head size.
#Air levitation(공기 부양) #Air pressure pick-up head(공압 파지식 헤드) #Non-contacting(비접촉) #Wafer handling(웨이퍼 처리) #Wafer gripper(웨이퍼 그리퍼)

목차

Abstract
1. 서론
2. 헤드의 개념적 설계모델
3. 해석
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (10)

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1. [인터넷자원] - / / Sehyoung, n.d google schola 2. [기타자료] - Air Bearing / 2003 / Air Bearing Application and Design Guide, New Way Precision, rev D : 4 ~ 12 google schola 3. [기타자료] - Apgar, D. H / 2006 / Bernoulli Pickup Head with Self-Restoring Anti-Tilt Improvement / US Patent: 4029351 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Li, X / 2008 / Analysis of Vortex Levitation / Experimental Thermal and Fluid Science 32 (8) : 1448 ~ 1454 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Davies, S / 2008 / An End Effector Based on the Bernoulli Principle for Handling Sliced Fruit and Vegetables / Robotics and Computer- Integrated Manufacturing 24 (24) : 249 ~ 257 google schola

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