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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박종성 (휴니드) 정규원 (충북대학교)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.21 No.3
발행연도
2012.6
수록면
465 - 472 (8page)

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This paper describes a new robust control algorithm which can be used to enhance the positioning performance of an ultra-precision positioning system. The working table is supported by flexure hinges and moved by a piezoelectric actuator, whose position is measured by an ultra-precise linear encoder. The system dynamics is very complicated because the movement of the table is governed by both the mechanical characteristics and those of the PZT actuator. So that, the dynamics of the stage was modeled roughly in this paper, and the overall system was formularized to solve the small gain problem. A series of experiments was conducted in order to verify the usefulness of the proposed algorithm. From the experimental results, the positioning performance such as the accuracy, the rise time and the hysteresis nonlinearity were greatly improved.
#Ultra-precision stage(극초정밀 스테이지) #Flexure hinge(탄성힌지) #Piezoelectric actuator(압전구동기) #Hysteresis(히스테리시스) #Robust control(견실제어) #Feed-forward compensator(앞먹임보상기)

목차

Abstract
1. Introduction
2. An ultra precision positioning system
3. Experimental results
4. Conclusions
Acknowledgement
References

참고문헌 (1)

참고문헌 신청
박종성, 정규원. 초정밀 스테이지의 강인 제어. 대한기계학회 논문집 A권. 2006 dbpia

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