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학술저널
저자정보
정재훈 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원) 박혜선 (포항산업과학연구원) 송민아 (포항산업과학연구원) 정재인 (포항산업과학연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제45권 제3호
발행연도
2012.6
수록면
104 - 108 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2012

빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 특성
정재훈 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명 한국표면공학회지 2012.06 학술저널
빗각 증착으로 제조된 다층 TiN 박막의 특성
정재훈 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2012.05 학술대회자료

2011

빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 특성
정재훈 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2011.11 학술대회자료

초록· 키워드

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Oblique angle deposition (OAD) is a physical vapor deposition where incident vapor flux arrives at nonnormal angles. It has been known that tilting the substrate changes the properties of the film, which is thought to be a result of morphological change of the film. In this study, OAD has been applied to prepare single and multilayer TiN films by cathodic arc deposition. TiN films have been deposited on cold-rolled steel sheets and stainless steel sheet. The deposition angle as well as substrate temperature and substrate bias was changed to investigate their effects on the properties of TiN films. TiN films were analyzed by color difference meter, scanning electron microscopy, nanoindenter and x-ray diffraction. The color of TiN films was not much changed according to the deposition conditions. The slanted and zigzag structures were observed from the single and multilayer films. The relation between substrate tilting angle (α) and the growth column angle (β) followed the equation of tanα = 2tanβ. The indentation hardness of TiN films deposited by OAD was low compared with the ones prepared at normal angle. However, it has been found that H³/E² ratio of 3-layer TiN films prepared at OAD condition was a little higher than the ones prepared at normal angle, which can confirm the robustness of prepared films.
#Oblique angle deposition #Cathodic arc deposition #TiN films #Indentation hardness

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - D. F. Arias / 2006 / / Appl. Surf. Sci. 253 : 1683 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - U. Illmann / 1994 / / Thin Solid Films 241 : 71 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - V. Valvoda / 1996 / / Surf. Coat. Technol. 80 : 61 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - D. Arias / 2010 / / Surf. Coat. Technol. 204 : 2999 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - John J. Steele / 2007 / / J Mater. Sci. 18 : 367 ~ google schola

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