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학술저널
저자정보
강동훈 (한국과학기술원) 김민규 (한국과학기술원) 최병규 (한국과학기술원) 박범철 (삼성전자)
저널정보
대한산업공학회 대한산업공학회지 대한산업공학회지 제33권 제2호
발행연도
2007.6
수록면
166 - 173 (8page)

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In this paper, we propose a model-based approach to estimating production parameters of semiconductor FAB equipment. For FAB scheduling, for example, we need to know equipment’s production parameters such as flow time, tact time, setup time, and down time. However, these data are not available, and they have to be estimated from material move data such as loading times and unloading times that are automatically collected in modern automated semiconductor FAB. The proposed estimation method may be regarded as a Bayes estimation method because we use additional information about the production parameters. Namely, it is assumed that the technical ranges of production parameters are known. The proposed estimation method has been applied to a LCD FAB, and found to be valid and useful.
#Model-based Estimation #Production Parameter #FAB Equipment #FAB Scheduling

목차

1. 서론
2. 생산기준정보의 추정
3. 생산기준정보의 추정 절차의 적용을 위한 소프트웨어 프로토타입 구현 사례
4. 결론 및 토의
참고문헌

참고문헌 (10)

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1. [학술지(정기간행물)] - Arisha, A. / 2004 / Intelligent Simulation-based Lot Scheduling of Photolithography Toolsets in a Wafer Fabrication Facility 2 : 1935 ~ 1942 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Bae, D. S / 2004 / Theory of Statistics and Application google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Choi, B. K / 2004 / Samsung Electro-Mechanics MES ISP Report google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Hsieh, B. W / 2001 / Scheduling Semiconductor Wafer Fabrication by Using Ordinal Optimization-Based Simulation 17 (5) : 599 ~ 608 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Jeong, I. J / 2005 / A Case Study of the Development of Standard Production Information System in TFT-LCD Factory 28 (1) : 41 ~ 48 google schola

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