메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김현철 (SP 반도체) 이상헌 (안동대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제36권 제9호
발행연도
2012.9
수록면
961 - 964 (4page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
원자현미경에서 시편의 높이정보를 얻기 위한 마이크로 캔틸레버의 굽힘은 optical lever 방식이나 간섭원리에 기반한 방식으로 이루어졌으나, 부피와 가격적인 측면에서 이들 방식은 많은 개선의 여지를 가지고 있다. 따라서 본 논문에서는 이전 방식의 단점을 극복하기 위하여, 간단한 구조로 구현이 가능한 비점 수차방식을 기반으로한 광픽업헤드를 이용하여 마이크로 캔틸레버의 굽힘 측정시스템을 개발하였다. 개발된 시스템은 실험실에서 제작한 원자현미경에 적용하여 그 가능성을 확인하였다.

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 측정원리 및 시스템
3. AFM으로의 적용 및 실험
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (5)

참고문헌 신청

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-550-003379957