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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김현철 (SP 반도체) 이상헌 (안동대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제36권 제9호
발행연도
2012.9
수록면
961 - 964 (4page)

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원자현미경에서 시편의 높이정보를 얻기 위한 마이크로 캔틸레버의 굽힘은 optical lever 방식이나 간섭원리에 기반한 방식으로 이루어졌으나, 부피와 가격적인 측면에서 이들 방식은 많은 개선의 여지를 가지고 있다. 따라서 본 논문에서는 이전 방식의 단점을 극복하기 위하여, 간단한 구조로 구현이 가능한 비점 수차방식을 기반으로한 광픽업헤드를 이용하여 마이크로 캔틸레버의 굽힘 측정시스템을 개발하였다. 개발된 시스템은 실험실에서 제작한 원자현미경에 적용하여 그 가능성을 확인하였다.

#Microcantilever(마이크로 캔틸레버) #Atomic Force Microscopy(원자현미경) #Astigmatism(비점수차)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 측정원리 및 시스템
3. AFM으로의 적용 및 실험
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (5)

참고문헌 신청
1. [기타자료] - / 1995 / U.S. Patent, 5,440,920, 1995, Scanning Force Microscope with Beam Tracking Lens google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Shusteff, M. / 2006 / Measuring Boltzmann's Contstant with aLow-Cost Atomic Force Microscope: An UndergraduateExperiment / Am. J. Phys 74 (10) : 873 ~ 879 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Quercioli, F. / 1999 / Monitoring of an Atomic Force Microscope Cantilever with a Compact Disk Pickup / Rev. Sci. Instrum. 70 : 3620 ~ 3624 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Hwu, E.-T. / 2006 / Measurement of Cantilever Displacement Using a Compact Disk/Digital Versatile Disk Pickup Head / Jpn. J. Appl. Phys. 45 : 2368 ~ 2371 google schola 이상헌, 정광석. 비점수차법을 이용한 초정밀변위측정법 연구. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2008 dbpia

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