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태양전지 제조공정 중 잉곳의 절삭공정 후 진행되는 태양광 실리콘 웨이퍼 세정에 관한 연구를 수행하였다. 태양광 실리콘 웨이퍼는 잉곳의 생산방법에 따라 단결정과 다결정 웨이퍼로 분류되고, 절삭 방법에 따라서는 슬러리로 절삭한 웨이퍼와 다이아몬드 와이어로 절삭한 웨이퍼로 구분할 수 있으며, 이의 방법들에 따라 웨이퍼 표면과 오염원이 달라질 수 있다. 본 연구에서는 세정대상물에 따라 오염원과 웨이퍼 표면의 특성을 관찰하였고 적합한 세정제를 개발하여 물성 및 세정성을 평가하여 적용성을 확인하고자 하였다. 개발된 세정제로 세정한 웨이퍼는 XPS 분석결과 잔류 오염물질이 관찰되지 않았으며, 표면조직화 후 균일한 패턴을 형성함을 확인할 수 있었다. 또한, 개발된 세정제를 웨이퍼 생산현장에서 테스트를 진행하여 기존 세정제보다 우수한 세정결과를 확보하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 토론
4. 결론
감사
참고문헌
참고문헌 (29)
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1. [단행본] - Luque, A / 2010 / Handbook of Photovoltaic Science and Engineering, 2nd Ed / Wiley
2. [학술지(정기간행물)] - Macdonald, D. H / 2004 / Texturing Industrial Multicrystalline Silicon Solar Cells / Solar Energy 76 : 277 ~ 283
3. [학술지(정기간행물)] - Gosálvez, M. A. / 2003 / Surface Morphology During Anisotropic Wet Chemical Etching of Crystalline Silicon / New J. Phys 5 : 100.1 ~ 100.28
4. [학술지(정기간행물)] - 사토 / 200603 / Characterization of anisotropic wet etching properties of single crystal silicon: Effects of ppb-level of Cu and Pb in KOH solution / Sensors and Actuators, A: Physical 128 (1) : 125 ~ 131
5. [학술지(정기간행물)] - Tanaka, H. / 2000 / Effects of Small Amount of Impurities on Etching of Silicon in Aqueous Potassium Hydroxide Solutions / Sensors and Actuators 82 : 270 ~ 273
2. [학술지(정기간행물)] - Macdonald, D. H / 2004 / Texturing Industrial Multicrystalline Silicon Solar Cells / Solar Energy 76 : 277 ~ 283
3. [학술지(정기간행물)] - Gosálvez, M. A. / 2003 / Surface Morphology During Anisotropic Wet Chemical Etching of Crystalline Silicon / New J. Phys 5 : 100.1 ~ 100.28
4. [학술지(정기간행물)] - 사토 / 200603 / Characterization of anisotropic wet etching properties of single crystal silicon: Effects of ppb-level of Cu and Pb in KOH solution / Sensors and Actuators, A: Physical 128 (1) : 125 ~ 131
5. [학술지(정기간행물)] - Tanaka, H. / 2000 / Effects of Small Amount of Impurities on Etching of Silicon in Aqueous Potassium Hydroxide Solutions / Sensors and Actuators 82 : 270 ~ 273
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