Sub-micron Control Algorithm for Grinding and Polishing Aspherical Surface

Hyung-Tae Kim; Hae-Jeong Yang; Sung-Chul Kim

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자료유형: 학술저널

저자정보: Hyung-Tae Kim (한국생산기술연구원) Hae-Jeong Yang (한국폴리텍대학) Sung-Chul Kim (AM Technology)

저널정보: 제어로봇시스템학회 International Journal of Control, Automation, and Systems International Journal of Control, Automation, and Systems 제6권 제3호

발행연도: 2008.6

수록면: 386 - 393 (8page)

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A position control method for interpolating aspherical grinding and polishing tool path was reviewed and experimented in a nano precision machine. The position-base algorithm was reformed from the time-base algorithm, proposed in the previous study. The characteristics of the algorithm were in the velocity control loop with position feedback. The aspherical surface was divided by an interval at which each velocity and acceleration were calculated. The theoretical velocity was corrected by position error during processing. In the experiment, a machine was constructed and nano-scale linear encoders were installed at each axis. Relation between process parameters and the variation of position error was monitored and discussed. The best result from optimized parameters showed that the accuracy was 150㎚ and improved from the previous report.

#Aspherical polishing #micro lenses #surface grinding #synchronized motion control #tool path generation #2D interpolation

참고문헌 (15)

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1. [학술대회논문] - M. Sekine / 2004 / Press-formed aspherical micro lense made of Bismuth based glass with high refractive index and transparency / Proc. of Optical Fiber Communication Conf. : 91 ~ 106

2. [학술대회논문] - W. C. Chen / 2005 / Tunable micro-aspherical lense manipulated by 2D electoro static force / Proc. of Int. Conf. on Solid-state Sensors, Actuators and Microsystems : 376 ~ 379

3. [학술지(정기간행물)] - L. Zhang / 2005 / Investigation into electrorheological fluid-assisted polishing / International Journal of Machine Tools & Manufacture 45 (12-13) : 1461 ~ 1467

4. [학술지(정기간행물)] - Y. C. Lee / 2005 / A new excimer laser micromachining method for axially symmetric 3D microstructures with continuous surface profiles / Sensors and Actuators A (physical) 117 (12-13) : 117 ~ 355

5. [학술대회논문] - V. C. Venkatesh / 2002 / Precision micro-machining of silicon and glass / Proc. of IEEE Int. Conf. on Industrial Application and Technology : 1146 ~ 1151

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