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이용수
Abstracts
1. 제철공정의 개요
2. 석회슬러리 발생현황 및 재활용 기술
3. 석회슬러리 이송 및 분사 장치 개발
4. 결론
참고문헌
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산화막 CMP 공정에서 슬러리 온도 변화에 따른 연마 특성
전기전자재료학회논문지
2005 .01
Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
태양전지 Wafering Slurry 재생기술 개발에 관한 연구
한국항행학회논문지
2010 .01
슬러리 펌프의 신뢰성 향상
신뢰성응용연구
2016 .12
분류에 의한 SLURRY 마멸
한국생산제조학회지
2002 .10
Optimization of Manufacturing Conditions of Semi-Solid Slurry in Multiplex-Type Slurry Cup
기타자료
2006 .09
진공을 이용한 Slurry Ice 빙축열시스템 개발
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
1999 .11
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
라그랑지안 기법을 이용한 관내 슬러리의 유동특성 해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .11
슬러리 쉴드 터널의 막장 안정성 평가 -슬러리의 폐색효과를 중심으로-
한국지반공학회논문집
2004 .08
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
해수가 슬러리 쉴드 TBM 공법 적용성에 미치는 영향
한국터널지하공간학회 논문집
2019 .01
실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
전기전자재료학회논문지
2004 .01
Development of slurry for Ru Chemical Mechanical Planarization
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
Treatment of Piggery Slurry by an Aerobic Recycling Plant System
대한환경공학회 학술발표논문집
1998 .12
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