신경망을 이용한 박막공정장비의 플라즈마 전위 모델링

김수연 ,  김병환

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .10

반도체 공정 최적화를 위한 일반화된 회귀 신경망 플라즈마 모델

박성진 ,  김병환

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

플라즈마 증착 장비 센서 정보의 신경망 시계열 모델링

김유석 ,  김병환 ,  권기청 외 2명

정보 및 제어 논문집

2006 .04

신경망을 이용한 비선형 시스템의 모델링 및 제어 ( Nonlinear System Modeling and Control Using Neural Network )

백재혁 ,  이정문

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

원통형 량뮤어 프로브에서의 플라즈마 전위와 부유 전위의 플라즈마 밀도 의존성 연구

정진욱 ,  이원기

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

신경망과 CUSUM 제어차트를 이용한 플라즈마 색 감시

권민지 ,  김병환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

반구형 유도결합플라즈마 장비의 전자온도 신경망 모델

김수연 ,  김우석 ,  김병환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

신경망을 이용한 비선형 시스템의 모델링 및 제어

백재혁 ,  이정문

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

인공신경망에 의한 생물공정에서 2차원 형광스펙트럼의 분석 Ⅱ : 역전파 신경망에 의한 공정의 모델링

이금일 ,  임용식 ,  손옥재 외 2명

KSBB Journal

2005 .08

플라즈마 식각 라디칼의 신경망 모델링

김우석 ,  김병환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

인공 신경망을 이용한 반도체 식각 공정 제어에 관한 연구

최문규 ,  김훈모 ,  윤건상

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

Effect of Process Parameters on Plasma Equipment in a Cl₂ Inductively Coupled Plasma

Sang Hee Kwon ,  Byung Whan Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

유전알고리즘을 이용한 퍼지-신경망의 모델링 및 비선형 시스템 모델링에의 응용

장욱 ,  주영훈 ,  박진배

한국지능시스템학회 논문지

1999 .02

공정개선을 위한 인공신경망의 실험적 적용에 관한 연구

한우철

한국컴퓨터정보학회논문지

2002 .03

초기공정에서 공정변화에 대한 신경망을 이용한 관리도 형태 연구

이희춘

한국산업정보학회논문지

2001 .09

공정 이상상태 예측을 위한 신경망 응용

신창하 ,  이종태

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

1998 .04

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링

유정식 ,  하대원 ,  우광방 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

전자회전공명 플라즈마를 이용한 a-C:H 박막의 특성 연구

김인수 ,  장익훈 ,  손영호

한국산업정보학회 학술대회논문집

2001 .05

C⁺⁺과 신경망을 이용한 In-process 감시 시스템의 구축

조종래 ,  정윤교

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2002 .10