하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출

김승균 ,  홍상진 ,  한승수

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF₄/O₂ 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각

박상준 ,  강석진 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

플라즈마 주요 인자를 활용한 가상 계측 기반의 플라즈마 식각 공정 제어를 위한 시스템 식별

구준모 ,  박담대 ,  하대근 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2016 .03

신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적운영과 이상검출에 관한 연구

고택범 ,  차상엽 ,  이석주 외 2명

제어로봇시스템학회 논문지

1998 .08

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각

이성현 ,  노호섭 ,  최경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링

유정식 ,  하대원 ,  우광방 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

Genetic Control of Learning and Prediction : Application to Modeling of Plasma Etch Process Data

김병환 ,  우형수 ,  곽관웅

제어로봇시스템학회 논문지

2007 .04

다중 채널 종말점 검출기의 개발

차상엽 ,  이석주 ,  우광방

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1998 .03

다중 채널 종말점 검출기의 개발 ( Development of Multiple Channel EPD Controller )

차상엽 ,  이석주 ,  우광방

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

PLS와 SVM복합 알고리즘을 이용한 식각 종료점 검출

이윤근 ,  한승수 ,  한이슬 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

신경회로망 모델을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적 공정 운영 ( Optimal operation of plasma etching process utilizing neural network )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

신경회로망 모델을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적 공정 운영

고택범 ,  차상엽 ,  하대원 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석

강찬민 ,  김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

축전결합 $CF_4$/$O_2$/$A_r$ 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate건식식각 비교

노호섭 ,  박연현 ,  이성현 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

광학센서를 이용한 실리콘 관통 전극 식각 공정에서 식각 종료점 검출

구자명 ,  홍상진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05