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저자정보
So Ito (Tohoku University) Issei Kodama (Tohoku University) Wei Gao (Tohoku University)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 Proceedings of the International Conference of Manufacturing Technology Engineers (ICMTE) 2012
발행연도
2012.10
수록면
17 - 20 (4page)

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The measurement system using a nanopipette ball probe is introduced for dimensional measurement of micrometer-scale structures. The nanopipette ball probe is consisted of thermally pulled capillary glass tube, and then a glass micro sphere with 9 μm diameter is attached at the edge of the capillary glass tube. In order to measure the distance between the edge of the probe and the surface of the measuring object, a method of shear-force detection is employed in this study. Since the shear-force detection can detect an interaction due to a water layer on the surface of the measuring object, it will be able to achieve non-contact measurement of the microstructures. During the measurement, the nanopipette ball probe is oscillated in lateral direction on its resonance frequency. The nanopipette ball probe can be detected the approaching from three axial direction by using single sensor. This paper presents the experimental investigations for performance evaluation of the nanopipette ball probe as a measurement system for dimensional measurements.
#Dimensional measurement #Nanopipette ball probe #Shear-force detection #Quartz crystal sensor

목차

1. Introduction
2. Experimental procedures
3. Experimental result and discussion
4. Conclusions
REFERENCES

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