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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.3
- 수록면
- 1 - 9 (9page)
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본 논문은 태앙전지용 실리콘 잉곳 절삭시 발생하는 폐 슬러지에서 실리콘 연마재를 분리 회수 재사용하는 시스템에 관한 것이다. 분리시스템의 기본 공정은 다중원심분리이고 분리효율을 높이기 위해 초음파 교반, 알코올-물 가수, 가열처리를 하였다. 실리콘의 경우 2N의 경우 95% 회수율을 보였고, 4N의 경우 94%의 회수율을 보였다. 연마재인 SiC의 경우에는 약 80%의 회수율을 보였다. 4N의 고순도 Si 회수를 위해서는 진공열처리를 수행하여 잔류성분을 제거하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론 및 고찰
참고문헌
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