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이용수
Abstract
1. INTRODUCTION
2. STURCTURE AND OPERATING PRINCIPLE
3. OSCILLATION LOOP DESIGN
4. IMPLEMENTATION
5. PERFORMANCE TEST
6. CONCLUSION
ACKNOWLEDGEMENTS
REFERENCES
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열 대류 가속도계의 성능향상에 관한 연구
대한기계학회 논문집 A권
2007 .05
Wafer Level Vacuum Packaged Out-of-Plane and In-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometers for Navigational Applications
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2005 .03
Micromachining 기술을 이용한 초소형 자기공명센서 구조 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Silicon Micromachining
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Silicon Micromachined Vacuum Encapsulated Resonant Pressure Sensors
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Resonant Loop Design and Performance Test for a Torsional MEMS Accelerometer with Differential Pickoff
International Journal of Control Automation and Systems
2007 .02
A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Vertical-type and Lateral-type Differential Resonant Silicon Accelerometers (DRXLs) with Micro-g Resolution
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2005 .07
TRANSIENT OSCILLATION ANALYSIS FOR A MEMS RESONANT ACCELEROMETER
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2002 .10
공진형 MEMS 가속도계의 음향가진 반응특성 연구
전기학회논문지
2015 .09
강건 구조설계에 기반한 미소 공진형 가속도계의 개발
센서학회지
2012 .01
Resonant Loop Design and Performance Test for a Torsional MEMS Accelerometer with Differential Pickoff
International Journal of Control, Automation, and Systems
2007 .02
Stochastic Analysis of Self-sustained Oscillation Loop for a Resonant Accelerometer
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2004 .08
Dependence of Performance on Process Fluctuation of Out-of-Plane Differential Resonant Silicon Accelerometer
대한전자공학회 학술대회
2009 .07
수직형 차동공진형가속도계의 공정 오차에 대한 성능의 의존성
대한전자공학회 학술대회
2009 .07
Real-time detection of focal position for high precision laser micromachining
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )
대한기계학회 논문집 A권
2001 .03
Fabrication of Fluid Element Using Silicon Micromachining and Performance Analysis Compared With Measurements
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
3축 MEMS 가속도 센서의 이득 및 오프셋 자동 교정법
전력전자학회 학술대회 논문집
2006 .06
Performance Characteristics of a Silicon Micromachined Thermal Flow Sensor for Species of Gases
ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications
2006 .06
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