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이희진 (한국산업기술대학교) 김재일 (한국산업기술대학교) 차동혁 (한국산업기술대학교) 심재홍 (한국산업기술대학교)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2010년도 ICROS 학술대회
발행연도
2010.5
수록면
633 - 636 (4page)

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Flip Chip Bonder와 같은 미세패턴 장비는 고속, 고정밀의 동작이 요구되므로 리니어 스데이지를 이용하여 구동하게 된다. 미세패턴 장비가 25um이하의 미세피치에서 최적의 속도로 정확한 동작을 하기 위해서는 리니어 모터 구동시 발생되는 Friction, Thrust Force, Force Ripple 등을 고려한 향상된 리니어 모터 제어 기법이 필요하다. 따라서, 본 논문에서는 리니어 모터의 모델링과 동작 시뮬레이션을 통해 동특성을 해석하고 고종횡비 미세패턴 장비의 최적화된 구동을 위한 리니어 모터의 정밀 위치 제어 기법을 제안한다.
#Motion Control #Linear Motor #Precision Position Control

목차

Abstract
1. 서론
2. 리니어 모터 모델링
3. 리니어 모터 제어기 설계
4. 리니어 모터 동작 시뮬레이션
5. 결론
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