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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 1,215 - 1,218 (4page)
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Recent semiconductor manufacturing equipments use primarily the SECS-II (SEMI Equipment Communications Standard-II) protocol. This protocol has an advantage that it is an open communication protocol able to transmit messages from equipments to hosts and collect equipment parameters in real time for analysis. In this paper, I suggested AIO (Auto Insert Off) control system using SECS-II protocol. The failure insert will be detected automatically through AIO system and control the operating equipments to minimize equipment halts. This contributes to improving equipment operating efficiency and productivity. Also, collected data can be used to engineer"s analysis to make faster and correct troubleshooting.
목차
Abstract
1. 서론
2. 반도체 Test 공정 현황
3. 검토
4. 결론
후기
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