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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 1,614 - 1,619 (6page)
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In this study, we have synthesized yttria stabilized zirconia (YSZ) in nanoscale through atomic layer deposition (ALD). Composition of the films has been analyzed by the energy-dispersive spectroscopy and the auger electron spectroscopy. The compositional analysis confirmed that doping concentration of ALD YSZ can be controlled by adjusting zirconium and yttrium source pulsing cycles. The electrochemical ion spectroscopy analysis has been used for measurement of ionic conductivity of the ALD YSZ films.
목차
Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. YSZ 박막의 제조 및 실험 방법
4. 해석 결과 및 분석
5. 결론
참고문헌
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