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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.8
- 수록면
- 5,518 - 5,523 (6page)
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This research is to use only PI controllers to reduce the hysteresis effect of a force actuator for a Scanning Probe Microscope (SPM). Comparisons with the previous design with Linear Velocity Transducer (LVT) for inner-loop feedback compensation are also made. Generally, the phase margins are larger for the newly proposed method. This improvement has been verified by MATLAB simulation and practical implementation to reduce the hysteresis effect of the force actuator. Thus the new design is cheaper and valuable.
목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. PRINCIPLE OF SYSTEM DESIGN
3. TEST RESULTS AND DISCUSSIONS
4. CONCLUSION
ACKNOWLEDGMENT
REFERENCES
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