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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.2
- 수록면
- 233 - 239 (7page)
이용수
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본 연구에서는 해석과 실험을 결합하여 15 μm 두께 구리 박막의 파괴인성을 평가하였다. 박막의 균열 진전 실험에서 관측된 영상과 동일한 균열 열림 형상을 보이는 국부-전체 유한요소 해석 모델의 원거리장 하중 조건을 역문제로 구성하여 구하게 된다. 단순화시킨 원거리장 하중 조건을 사용하여 유한요소 해석을 하였으며 균열 선단의 J-적분을 통하여 파괴인성을 평가하였다. 실험에서는 균열이 있는 구리 박막을 알루미늄 판에 붙여서 하중을 간접적으로 부여하였으며, 현미경 카메라를 사용하여 균열의 열림을 관측하였다. 마이크로 인장시험기를 사용하여 구리 박막의 응력-변형률 곡선을 구하였으며 구리 박막의 결정립 크기를 관측하기 위하여 투과전자현미경(TEM)을 사용하였다. 본 연구서는 500 nm ~ 1μm 크기 결정립을 갖는 구리 박막의 파괴인성은 6,962 J/m<SUP>2</SUP> 으로 평가되었다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 국부-전체 모델과 원거리장 하중 조건
3. 균열 진전 실험
4. 구리박막의 파괴인성 평가
5. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (15)
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1. [학술지(정기간행물)] - Jaeger, G / 2000 / A New Method of Determining Strength and Fracture Toughness of Thin Hard Coating / Thin Solid Films 332 : 195 ~ 201
2. [학술지(정기간행물)] - Cottrell, B / 2000 / Buckling and Cracking of Thin Films on Compliant Substrate Under Compression / Int. J. Fracture 104 : 169 ~ 179
3. [학술지(정기간행물)] - Oh, C.S / 2003 / Comparison of the Young’s Modulus of Polysilicon Film by Tensile Testing and Nanoindentation / Sensor and Actuators A: Physics 117 (1) : 151 ~ 158
4. [학술지(정기간행물)] - Holmgerg, K / 2003 / A Model for Stresses, Crack Generation and Fracture Toughness Calculation in Scratched TiN-Coated Steel Surface / Wear 254 : 278 ~ 291
5. [학술지(정기간행물)] - Bravo-Leon, A / 2002 / Fracture Toughness of Nanocrystalline Tetragonal Zirconia with Low Yttria Content / Acta Mater 50 (18) : 4555 ~ 4562
2. [학술지(정기간행물)] - Cottrell, B / 2000 / Buckling and Cracking of Thin Films on Compliant Substrate Under Compression / Int. J. Fracture 104 : 169 ~ 179
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