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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.5
- 수록면
- 201 - 204 (4page)
이용수
초록· 키워드
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In this paper, finite element analysis of a micro pattern forming process is conducted using three-dimensional rigid-plastic finite element method assisted by a powerful intelligent tetrahedral element generation technique. To predict a specified region with higher accuracy, the region is specially refined during meshing or remeshing by a pipe type mesh density function. The method is successfully applied to predict a complex micro pattern forming process.
목차
Abstract
1. 서론
2. 마이크로패턴 공정의 유한요소해석
3. 결론
참고문헌
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-551-000203993