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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박창용 (Kumoh National Institute of Technology) 권현규 (Kumoh National Institute of Technology) 조지준 (Kumoh National Institute of Technology)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제12권 제1호
발행연도
2013.2
수록면
97 - 103 (7page)

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A new precision positioning mechanism for stage was been developed by Displacement Magnification Device(DMD) in this paper. The DMD was composed of the beam and multilayer piezoelectric actuators. The theoretical and experimental analysis of DMD to enlarge displacement more then 50times were discussed. And the 2-axis stage by using displacement amplification apparatus was added in the new DMD, and it was able to do it through finite element analysis and experiment. As the results, the magnification of DMD can be obtained about 100㎛ displacement to the 10V input voltage(1.5㎛). And the about 50nm of linearity error in the 30㎛ measurement range and 20times of the amplification in displacement can be measured. In addition, the experimental results are confirmed the possibility of millimeter displacement characteristics and correspond to finite element analysis results.
#PZT actuator(압전 구동기) #Flexure hinge(탄성 힌지) #Displacement magnification(변위 확대) #Precision stage(정밀스테이지)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 변위확대기구의 설계
3. 변위확대기구에 의한 스테이지제작
4. 실험결과 및 검토
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
2. [학술대회논문] - K. S. Min / 2005 / Analysis of Multiple Displacement Magnification Mechanism in Ultraprecision Nano Stage / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 1273 ~ 1276 google schola 3. [학술대회논문] - S. W. Lee / 2009 / An Design Method fot the Flexure-guided Stage for the Long-stroke Scanning / Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference : 205 ~ 206 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - J. M. Paros / 1965 / How to design flexure hinges / Mechine Design 27 : 151 ~ 156 google schola 5. [기타자료] - J. S. Lee / 2006 / A study on fine actuating stage for autofocus by using flexure-hinge type lever mechanism : 665 ~ 666 google schola 6. [학술지(정기간행물)] - 최기봉 / 2005 / Min-Max 알고리즘을 이용한 피에조 구동형 스테이지의 최적설계 및 성능평가 / 한국정밀공학회지 22 (9) : 130 ~ 136 dbpia

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