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저자정보
박창근 (부경대학교) 김상오 (부경대학교) 손출배 (한국정밀) 곽재섭 (부경대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2012년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2012.11
수록면
2,329 - 2,334 (6page)

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In this study, an EP(Electro-Polishing)-MAP(Magnetic Abrasive Polishing) hybrid process was applied to removing burr on the micro pattern. A micro pattern fabrication processes are combined with micro milling and EP-MAP hybrid process for deburring. Depending on the micro milling conditions which are applied, micro burrs are formed around the side and top of the pattern. EP-MAP deburring is used to remove these burrs effectively. To optimize removal rate and form error in the EP-MAP hybrid process, design of experiment was performed. The effect of deburring process and form error of micro pattern are evaluated via SEM images and the results of AFM.
#EP-MAP Hybrid Process(전해-자기 복합 가공) #Micro Milling(마이크로 밀링) #EP-MAP Hybrid Deburring(전해-자기 복합 디버링 공정) #Micro Pattern(미세패턴)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 실험의 구성
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

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