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Si-Hyung Lim (국민대학교) Hong Jae Yim (국민대학교) Sosoon Park (행정안전부) Sumit Barthwal (국민대학교) Dongho Kim (국민대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2012년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2012.11
수록면
2,641 - 2,645 (5page)

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A gas sensor using SnO₂ porous nanowires as sensing materials was designed to detect toxic gases such as CO, NO₂ and NH₃. The SnO₂ porous nanowires were chemically synthesized using hydrothermal methods. The MEMS sensor platform including a microheater and sensing electrodes was fabricated using conventional semiconductor fabrication processes. A spin coating technique was used for the coating of SnO₂ porous nanowires on top of the sensing electrodes. The ~ ppm level concentration and ＜ 10 s level response/recovery time were demonstrated using the developed gas sensing platform.
#Gas sensor(가스센서) #SnO₂(산화주석) #Porous nanowire(다공성 나노선)

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental
3. Results and discussion
4. Conclusion
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