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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.11
- 수록면
- 2,703 - 2,706 (4page)
이용수
초록· 키워드
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Focused ion beam (FIB) is a well-known process for fabrication of micro/nano scale structure, and several approaches have been carried out for machining complex 2D/3D shapes. However for higher precision, more systematic strategy is required for beam path generation in order to overcome physical drawback of ion beam such as re-deposition. In this study, a novel path generation strategy, which was inspired from traditional macro and micro machining, was proposed. The strategy consists of three parts; designations of processing region, form, and order. Specific path examples were introduced and precision of fabricated structures were compared. Offset scan path showed better precision compared to conventional raster scan path.
목차
Abstract
1. 서론
2. 가공 경로 생성 전략
3. 이온빔 가공
4. 결과
5. 결론
참고문헌
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-550-000184278