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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.5
- 수록면
- 549 - 552 (4page)
이용수
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2010
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This paper describes a novel method for fabricating a metallic mold with narrow high-aspect-ratio intaglio micro pattern structures, hole and groove pattern width of 10 ㎛, and aspect ratio 4.0. Creating such structures by conventional micromachining with a 10-㎛-wide tool tip is difficult or even impossible. We first fabricated pattern structures with width of 10 ㎛ and height of 40 ㎛ by micro machining process with wider tool, and replicated metallic mold to form inverse structures by electroforming process. A passivation layer was used to prevent diffusion between the brass master and the electroformed metallic mold during electroforming. We demonstrated the feasibility of this process by measuring and analyzing the patterns imprinted using the metallic mold.
목차
Abstract
1. 서론
2. 대면적 금속 몰드 복제 공정 기술
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-550-002357517