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회전검광자 방식의 타원계 구조에 기초하여 두꺼운 막들 내부에서 일어나는 다중반사에 인한 빛의 세기를 결맞지 않도록 중첩함으로써 결맞음길이보다 두꺼운 막 두 개가 다층박막시료 위에 있을 때 적용되는 타원상수 표현들을 유도하였다. 유도된 표현들을 커버유리와 공기층 아래에 있는 산화규소 박막이 코팅되어 있는 시료의 타원법 분석에 적용하여 그 유용성을 확인하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 두꺼운 막에 의한 타원상수식의 보정
Ⅲ. 두꺼운 막에 덮여있는 SiO2 on c-Si 시료의 분석
Ⅳ. 결론
References
참고문헌 (16)
참고문헌 신청
G. Jin / 1998 / Imaging ellipsometry for the visualization of bio-molecular layers / Engineering in Medicine and Biology Society, Proc. The 20th Annual International Conference of the IEEE 20:581~584
R. Seitz / 2005 / Protein adsorption on solid–liquid interfaces monitored by laser-ellipsometry / Applied Surface Science 252:154~157
M. Poksinski / 2004 / Protein monolayers monitored by internal reflection ellipsometry / The 3rd International Conference on Spectroscopic Ellipsometry 455-456 :716~721
최중규 / 2009 / 영상 타원법을 이용한 인간 줄기세포의 굴절률과 두께 분포 연구 / 한국광학회지 20(1):53~56
S.-H. Kim / 2011 / Study of cell-matrix adhesion dynamics using surface plasmon resonance imaging ellipsometry / Biophysical Journal 100:1819~1828
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최중규 / 2009 / 영상 타원법을 이용한 인간 줄기세포의 굴절률과 두께 분포 연구 / 한국광학회지 20(1):53~56
S.-H. Kim / 2011 / Study of cell-matrix adhesion dynamics using surface plasmon resonance imaging ellipsometry / Biophysical Journal 100:1819~1828
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