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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
최정규 (부산대학교) 황동현 (부산대학교) 손영국 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제46권 제2호
발행연도
2013.4
수록면
75 - 79 (5page)

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A one-step route was developed to fabricate Cu(In,Ga)Se<SUB>2</SUB> (CIGS) thin films by radio frequency (RF) magnetron sputtering from a single quaternary CuIn<SUB>0.75</SUB>Ga<SUB>0.25</SUB>Se<SUB>2</SUB> target. The effects of the substrate temperatures on the structural and electrical properties of the CIGS layers were investigated by X-ray diffraction (XRD), field emission scanning electron microscopy (FESEM), energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) and Hall effect measurements. All the deposited films showed a preferential orientation along the (112) direction. The films deposited at 300℃ and 400℃ revealed that chalcopyrite main (112) peak and weak prominent peaks of (220)/(204) and (312)/(116), indicating polycrystalline structures. The element ratio of the deposited film at 300℃ were almost the same as the near-optimum value. The carrier concentration of the films decreased with increasing substrate temperatures.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-580-002569140