SIMS를 이용한 BF2+ 이온주입된 실리콘에서의 불순물 재분포에 대한 연구

이대훈 ,  손용선 ,  이순영 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1988 .01

BF⁺₂ 이온주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구

권상직 ,  백문철 ,  차주연 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1988 .04

BF+2 이온 주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구 ( A Study on the Lattice Damages and Impurity Depth Profiles of BF+2 Ion Implanted Silicon )

권상직 ,  백문철 ,  차주연 외 1명

전자공학회논문지

1988 .03

BF2+ 이온주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구

권상직 ,  백문철 ,  차주연 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1988 .01

B+ 및 BF2+ 가 이온 주입된 실리콘 웨이퍼의 Annealing 효과 ( Annealing Effect ofr the B+- and BF2+- Implanted Silicon Wafers )

권상직 ,  권오준 ,  정호선

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

TiN/TiSi₂ 경합반응과 불순물 재분포 특성에 대한 기판 실리콘에 주입된 BF₂ 불순물 농도의 영향

李鐵眞 ,  成英權

전기학회논문지

1993 .06

BF2+가 이온 주입된 코발트로부터 확산하여 얻어진 매우 얇은 p+ / n 접합의 형성 ( Formation of Ultra-shallow p+ / n Junction by Diffusion from BF2+ Implanted Co Metal )

이석운 ,  민경익 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Si 기판에 주입된 BF2불순물이 Ti Silicides 형성에 미치는 영향 ( Effects of Implanted BF2 on the Formation of Ti-Silicides )

최석훈 ,  최진석 ,  백수현

전자공학회논문지

1990 .12

대나무 섬유(BF) 및 PP/BF 복합체의 물성에 미치는 BF의 화학적 처리의 영향

이범희 ,  정다솔 ,  김철우 외 2명

공업화학

2018 .01

실리콘에서의 불순물 분포의 산출 ( Characterization of Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

대나무 섬유(BF) 실란처리가 폴리프로필렌(PP)/에틸렌-옥텐 고무/BF 복합체의 물성에 미치는 영향

이범희 ,  김진주 ,  정다솔 외 3명

폴리머

2017 .07

BF2를 주입한 다결정 실리콘 게이트에서 유전 박막에 따른 Boron 침투에 대한 특성 분석 ( The Characteristics Analysis of Boron Penetration on BF2 Implanted gate with Dielectric Films )

박진산 ,  정윤호 ,  박광균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

실리콘에서의 2차원적 불순물의 분포의 산출 ( Characterization of Two-Dimensional Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

전자공학회논문지

1986 .11

TaSi2 형성시 단결정 실리콘 기판에 이온주입된BF2의 거동 ( The Behavior of BF2 Implanted Single Crystalline Si Substrates During the Formation of TaSi2 )

조현춘 ,  양희준 ,  최진석 외 1명

전자공학회논문지-A

1991 .10

BF2 이온 주입된 P 다결정실리콘 게이트 PMOSFET의 Hot-Carrier 효과 ( Hot-Carrier Effect of BF2 Implanted p Polysilicon Gate PMOSFET )

김정태 ,  유동열 ,  양광선 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

BF3 중성자 계측기 신뢰성 분석

최유선 ,  이환수

한국에너지학회 학술발표회

2013 .11

CFD를 이용한 BFS 침전지의 설계 최적화에 관한 연구

신동훈 ,  심광보 ,  권중천

대한환경공학회 학술발표논문집

2005 .12

수치해법에 의한 실리콘에서의 불순물의 분포의 산출 ( Numerical Evaluation of Impurity Profile in Silicon )

오형철 ,  경종민

전자공학회지

1984 .11

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출 ( A Production of Two-dimensional impurity using Boundary Element Method in Silicon )

김찬규 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1987 .07