Safety-critical 시스템의 수요 증가와 함께, 시스템 고장을 일으키는 기술적 요인이 많이 발생하고 있다. 이러한 요인으로 인해 Soft Error에 대한 민감도 증가와 같이 칩에 예기치 않은 고장을 일으키는 문제들이 발생하였다. Safety-critical 시스템에서 발생하는 신뢰성 문제들을 검증하기 위해서는 fault, error, 그리고 failure가 시스템에 미치는 영향을 분석을 하는 것이 중요하다. 이러한 영향을 분석하기 위하여 본 논문에서는 임베디드 시스템에서 적용 가능한 결함(fault), 오류(error), 고장(failure) 분류 기법을 제안한다. 이 기법들을 적용하면 시스템 취약도에 대한 정량적 분석이 가능하여 시스템의 신뢰도를 수치화하고 명시적으로 표현할 수 있다. 제안한 분류 기법을 활용하여 시스템에서 발생하는 fault, error, 그리고 failure를 정량적으로 분석할 수 있다. 이 분석 결과를 바탕으로 시스템의 어떤 부분이 fault에 취약한지 확인한다. 그리고 취약구간을 찾아 어떤 요인이 failure rate를 높이는 원인인지 분석하여 시스템 최적화에 기여할 수 있다.