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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.7
- 수록면
- 862 - 865 (4page)
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This paper presents a multiple combination of Gaussian mixture model (GMM) classifier based fault diagnosis method for the ceramic heater in the chemical vapor deposition (CVD) equipment. In CVD equipment, the fault in ceramic heater lead to yield reduction, however, there is no suitable ceramic heater fault diagnosis system. The proposed method measure the output signal (Vpp) of RF detector and extract the zero-crossing rate (ZCR) and mean-crossing rate (MCR) as discrimination measure. The extracted ZCR and MCR have a discriminant power and the multiple GMM classifier based fault diagnosis method can detect fault in ceramic heater. Experimental results, carried out by measured signals provided by a CVD equipment manufacturer, indicate that the proposed method detects effectively faults in various process conditions.
목차
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 세라믹 히터 결함 검출
Ⅲ. 실험 및 결과
Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌
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