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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.8
- 수록면
- 1,747 - 1,752 (6page)
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탄소를 포함한 SiOC 박막은 BTMSM과 산소의 혼합 프리커서를 이용하여 CVD방법으로 증착하였다. 전통적으로 유전상수를 측정하기 위해서 MIS(금속/절연막/반도체)방법을 이용하는데 박막의 균일성을 보장할 수 없기 때문에 나타나는 오차의 한계를 보상하기 위해서 광학적인 분석방법과 경도측정 등을 통하여 SiOC 박막이 분극이 낮아지는 영역을 추적하였다. 분극이 낮고 비정질성이 높은 박막에서 유전상수가 낮아지는 특성을 이용하여 유전상수를 도출하였다. 열처리 후 SiOC 박막의 유전상수는 분극의 감소에 의해 감소하였으며, FTIR 분석에 의한 결합신호는 높은 파수 영역으로 이동하였다. 950~1200 cm-1 영역의 주 결합은 Si-C와 Si-O 결합으로 이루어졌으며, Si-O 결합의 강도가 증가한 것은 결합력이 증착한 샘플에서 보다 증가하였다는 것을 의미하며, 열처리 후 더 안정된 박막이 되었다. 열처리 후 SiOC 박막은 유전상수가 2.06으로 낮게 나타났다.
목차
요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 검토
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (9)
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1. [학술지(정기간행물)] - T. Oh / 2006 / Organic thin film transistors using pentacene and SiOC film / IEEE transactions on Nanotechnology 5 : 23 ~
2. [학술지(정기간행물)] - M. J. Kellicutt / 1993 / Variable-rangehopping conduction and the Pool-Frankel effect in a copper polyaniline vermiculite intercalation compound / Physical Review B. 47 (20) : 13664 ~
3. [학술지(정기간행물)] - P. W. May / 1998 / Field emission conduction mechanisms in chemical vapor deposited diamond and diamondlike carbon films / Appl. Phys. Lett. 27 : 218 ~
4. [학술지(정기간행물)] - I. Kymissis / 2001 / High-performance bottom electrode organic thin-film transistors / IEEE Transactions on Electron Devices 48 : 1060 ~
5. [학술지(정기간행물)] - D. J. Gundlach / 1997 / Pentacene organic thin-film transistors-molecular ordering and mobility / IEEE Electron Device Letters 18 : 87 ~
2. [학술지(정기간행물)] - M. J. Kellicutt / 1993 / Variable-rangehopping conduction and the Pool-Frankel effect in a copper polyaniline vermiculite intercalation compound / Physical Review B. 47 (20) : 13664 ~
3. [학술지(정기간행물)] - P. W. May / 1998 / Field emission conduction mechanisms in chemical vapor deposited diamond and diamondlike carbon films / Appl. Phys. Lett. 27 : 218 ~
4. [학술지(정기간행물)] - I. Kymissis / 2001 / High-performance bottom electrode organic thin-film transistors / IEEE Transactions on Electron Devices 48 : 1060 ~
5. [학술지(정기간행물)] - D. J. Gundlach / 1997 / Pentacene organic thin-film transistors-molecular ordering and mobility / IEEE Electron Device Letters 18 : 87 ~
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