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이용수
요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
참고문헌
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Anomalous Subthreshold Characteristics of Shallow Trench-Isolated Submicron NMOSFET with Capped p-TEOS/SiN
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2002 .01
Shallow Trench Isolation for 0.15mm Device
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997 .01
TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Simulations of Stress and Narrow Width Effects in Shallow Trench Isolation and Its Applications
INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING
2011 .06
Shallow trench 식각 공정시 발생하는 손상의 후속 열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
Shallow Trench 식각공정시 발생하는 결함의 후속열처리 및 산화공정에 따른 거동에 관한 연구
한국표면공학회지
1998 .10
긴 채널 NMOSFET에 대한 통합 전류-전압 ( A Unified Current-Voltage Model for Long Channel NMOSFET's )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
65 ㎚이하 shallow trench isolation (STI) gap fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .10
δ - 도핑 NMOSFET 채널 내에서의 양자화 효과
대한전자공학회 학술대회
2001 .06
Determination of End Point for Direct Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation Structure
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2003 .02
車輛過速防止턱의 設置基準 開發에 관한 硏究
대한교통학회지
1994 .03
Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1986 .06
Trench isolation을 사용한 다이오드의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of diode using trench isolation )
대한전자공학회 학술대회
1986 .01
STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
NMOSFET에서 핫-캐리어 내성의 소자 개발
대한전자공학회 학술대회
2002 .06
Deep sub-micron CMOS의 소자고립을 위한 Shallow Trench 식각공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
RTO 성장과 0.15mm NMOSFET에의 적용 ( Application of Ultra-Thin Rapid Thermal Oxide to 0.15mm NMOSFET )
대한전자공학회 워크샵
1996 .01
비대칭 소오스 / 드레인을 갖는 NMOSFET의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of NMOSFET's with Asymmetric Source / Drain Region )
대한전자공학회 학술대회
1998 .11
비대칭 소오스/드레인을 갖는 NMOSFET의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1998 .11
인듐을 채널 도펀트로 사용한 0.1㎛ nMOSFET에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .12
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