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학술저널
저자정보
김영규 (Chung-Ang Univ.) 변의현 (Chung-Ang Univ.) 장호영 (Chung-Ang Univ.) 김석민 (Chung-Ang Univ.)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제12권 제5호
발행연도
2013.10
수록면
16 - 22 (7page)

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A two-dimensional photonic crystal structure was investigated using a roll-to-roll nanoreplication and physical vapor deposition processes for the inexpensive enhanced fluorescence substrate which is not sensitive to the polarization directions of excitation light source. An 8 inch silicon master having nano dot array with a diameter of 200 nm, a height of 100 nm and a pitch of 400 nm was prepared by KrF laser scanning lithography and reactive ion etching processes. A flexible polymer mold was fabricated by flat type UV replication process and a deposition of 10 nm nickel layer as an anti-adhesion layer. A roll mold was prepared by warping the flexible polymer mold on an aluminum roll base and a roll-to-roll UV replication process was carried out using the roll mold. After the deposition of ~ 100 nm TiO2 layer on the replicated nano dot array, a 2 dimensional photonic crystal structure was realized with a resonance wavelength of 635 nm for both p- and s-polarized light sources.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 2차원 나노구조 롤몰드 제작
3. 롤투롤 나노 복제 공정 활용 2차원광결정구조 제작
4. 광결정 구조 광특성 분석
5. 결과
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참고문헌 (12)

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