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A two-dimensional photonic crystal structure was investigated using a roll-to-roll nanoreplication and physical vapor deposition processes for the inexpensive enhanced fluorescence substrate which is not sensitive to the polarization directions of excitation light source. An 8 inch silicon master having nano dot array with a diameter of 200 nm, a height of 100 nm and a pitch of 400 nm was prepared by KrF laser scanning lithography and reactive ion etching processes. A flexible polymer mold was fabricated by flat type UV replication process and a deposition of 10 nm nickel layer as an anti-adhesion layer. A roll mold was prepared by warping the flexible polymer mold on an aluminum roll base and a roll-to-roll UV replication process was carried out using the roll mold. After the deposition of ~ 100 nm TiO2 layer on the replicated nano dot array, a 2 dimensional photonic crystal structure was realized with a resonance wavelength of 635 nm for both p- and s-polarized light sources.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 2차원 나노구조 롤몰드 제작
3. 롤투롤 나노 복제 공정 활용 2차원광결정구조 제작
4. 광결정 구조 광특성 분석
5. 결과
REFERENCES
참고문헌 (12)
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1. [학술지(정기간행물)] - Gerhold, D / 1999 / DNA chips: promising toys have become powerful tools / Trends in Biochemical Sciences 24 : 168 ~ 173
2. [학술지(정기간행물)] - Casciano, D. A / 2006 / Empowering microarrays in the regulatory setting / Nature Biotechnology 24 : 1103 ~
3. [학술지(정기간행물)] - Shi, L. / 2006 / The Microarray Quality Control (MAQD) project shows inter- and intraplatform reproducibility of gene expression measurements / Nature Biotechnology 24 : 1151 ~ 1161
4. [학술지(정기간행물)] - Zin, M. T. / 2009 / Surface–plasmon-enhanced fluorescence from periodic quantum dot arrays through distance control using biomolecular linkers / Nanotechnology 20 : 015305 ~
5. [학술지(정기간행물)] - Lakowicz, J. R. / 2006 / Plasmonics in biology and plasmon-controlled fluorescence / Plasmonics 1 : 5 ~ 33
2. [학술지(정기간행물)] - Casciano, D. A / 2006 / Empowering microarrays in the regulatory setting / Nature Biotechnology 24 : 1103 ~
3. [학술지(정기간행물)] - Shi, L. / 2006 / The Microarray Quality Control (MAQD) project shows inter- and intraplatform reproducibility of gene expression measurements / Nature Biotechnology 24 : 1151 ~ 1161
4. [학술지(정기간행물)] - Zin, M. T. / 2009 / Surface–plasmon-enhanced fluorescence from periodic quantum dot arrays through distance control using biomolecular linkers / Nanotechnology 20 : 015305 ~
5. [학술지(정기간행물)] - Lakowicz, J. R. / 2006 / Plasmonics in biology and plasmon-controlled fluorescence / Plasmonics 1 : 5 ~ 33
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