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학술저널
저자정보
손성균 (한국산업기술대학교) 한솔이 (한국산업기술대학교) 성인하 (한남대학교) 김욱배 (한국산업기술대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제37권 제12호
발행연도
2013.12
수록면
1,159 - 1,165 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2014

블라스팅과 유체제트연마법을 이용한 유리미세유체소자 제작기술
손성균 2014.01 학위논문

2013

워터젯을 이용한 블라스팅 유리 마이크로 채널의 표면거칠기 개선
손성균 ,  한솔이 ,  성인하 외 1명 대한기계학회 논문집 B권 2013.12 학술저널

2012

블라스팅과 워터젯 순차가공에 의한 유리 미세유체소자 제작기술
손성균 ,  김욱배 ,  김원우 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012.05 학술대회자료

초록· 키워드

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파우더 블라스팅은 미세 유리가공법으로서 가공속도가 빠르고 저비용의 장점이 있지만 유리를 취성파괴 시키기 때문에 표면거칠기가 좋지않다. 블라스팅된 표면에 저압의 워터젯을 분사하여 표면에서의 연마 슬러리의 흐름을 통해 표면거칠기를 저감할 수 있다. 본 연구에서는 소다라임 유리에 블라스팅으로 마이크로 채널을 가공한 후 워터젯을 연속 적용하고, 마이크로 채널의 표면거칠기 및 단면 형상의 변화의 과정을 관찰하였다. 워터젯의 적용결과, 초기단계에서는 블라스팅에 의한 미세 요철이 제거되었고, 이후 표면하부의 크랙이 제거되어 평균 표면거칠기 50 nm 근방의 매끈한 표면을 얻을 수 있었다. 표면거칠기 저감에 동반하여 채널단면의 확장 과정도 함께 관측하였다. 마지막으로 제안한 방법에 의해 미세유체칩의 가공 결과를 제시하였다.
#Glass Micromachining(유리미세가공) #Surface Roughness(표면거칠기) #Blasting(블라스팅) #Waterjet Polishing(워터젯 연마) #Microfludic Device(미세유체소자)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 실험조건 및 방법
3. 실험결과 및 토의
4. 미세유체칩의 제작
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Geschke, O. / 2004 / Microsystem Engineering of Lab-on-a-Chip Devices / WILEY-VCH Verlag GmbH & Co : 161 ~ 168 google schola 2. [단행본] - Zribi, A. / 2003 / Functional Thin Films and Nanostructures / Springer Science+Business Media : 70 ~ 72 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Iliescu, C. / 2008 / On the Wet Etching of Pyrex Glass / Sens. Actuator A 143 : 154 ~ 161 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Takeuchi, Y. / 1996 / Ultraprecision 3D Micromachining of Glass / CIRP Annals 45 (1) : 401 ~ 404 google schola 6. [학술지(정기간행물)] - Sayah, A. / 2010 / Three-dimensional Mixers with non-Planar Microchannels in a Monolithic Glass Substrate using Oblique Powder Blasting / J. Micromech. Microeng 20 : 085028 ~ google schola

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