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초음파 진동과 레이저 후면 에칭을 통한 유리 구멍 가공
Glass Drilling using Laser-induced Backside Wet Etching with Ultrasonic Vibration
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.31 No.1 KCI등재 SCOPUS
- 발행연도
- 2014.1
- 수록면
- 75 - 81 (7page)
이용수
초음파 진동과 레이저 후면 에칭을 통한 유리 구멍 가공
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Laser beam machining has been known as efficient for glass micromachining. It is usually used the ultra-short pulsed laser which is time-consuming and uneconomic process. In order to use economic and powerful long pulsed laser, indirect processing called laser-induced backside wet etching (LIBWE) is good alternative method. In this paper, micromachining of glass using Nd:YAG laser with nanosecond pulsed beam has been attempted. In order to improve shape accuracy, combined processing with magnetic stirrer has been widely used. Magnetic stirrer acts to circulate the solution and remove the bubble but it is not suitable for deep hole machining. To get better effect, ultrasonic vibration was applied for improving shape accuracy
목차
1. 서론
2. 실험 구성
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
전성건 / 2003 / 화학적 초음파가공을 이용한 유리의 미세가공 / 대한기계학회논문집 A 27(12):2085~2091
Liu, J. W. / 2012 / Hole Fabrication for Glass using Ultrasonic Machining / Proc. of The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers Autumn Conference
Han, M. S. / 2009 / Geometric Improvement of Glass Microstructuring using Electrochemical Discharge Machining Process / Proc. of The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers Autumn Conference :65~69
Choi, J. Y. / 2011 / Micromachining of Glasses using an Ultrashort Pulse Laser / Proc. of KSPE Autumn Conference :151~152
Mitxuishi, M. / 2008 / Analysis of Laser Micromachining in Silica Glass with an Absorbent Slurry / Annals of the CIRP 57(1):217~222
Liu, J. W. / 2012 / Hole Fabrication for Glass using Ultrasonic Machining / Proc. of The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers Autumn Conference
Han, M. S. / 2009 / Geometric Improvement of Glass Microstructuring using Electrochemical Discharge Machining Process / Proc. of The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers Autumn Conference :65~69
Choi, J. Y. / 2011 / Micromachining of Glasses using an Ultrashort Pulse Laser / Proc. of KSPE Autumn Conference :151~152
Mitxuishi, M. / 2008 / Analysis of Laser Micromachining in Silica Glass with an Absorbent Slurry / Annals of the CIRP 57(1):217~222
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