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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제12권 제1호
발행연도
2002.1
수록면
65 - 72 (8page)

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Generally, there are laser operating equipments( aligner, stepper) and electronic microscope( SEM, TEM) as a high precision manufacturing and inspection equipment in semiconductor production companies, precision examination and measuring laboratories. Mostly, these equipments are characterized by projection and target part. The relative displacements between projection and target part are dominant roles in vibrational problem in these precision equipments. These relative displacements are determined by the position of incoming vibration and the difference of vibration response in projection and target part. In this study, the allowable vibrational limits are suggested and the vibrational reduction plans are proposed by measurement and analysis of vibration phenomenon in the Clean Room in PDP(plasma display panel) production building. The vibration performance is
#상대변위 #청텅정실 #초정밀 측정 장비 #Clean Room #PDP(plasma display panel) #Precision Measuring System #Relative Displacement

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