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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제21권 제6호
발행연도
2011.6
수록면
553 - 561 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2011

RF-MEMS 스위치용 마이크로 외팔보의 감쇠특성
이진우 한국소음진동공학회논문집 2011.06 학술저널
RF-MEMS 스위치용 마이크로 외팔보의 동특성 해석
이진우 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2011.04 학술대회자료

2009

스퀴즈 필름 현상을 고려한 마이크로 외팔보의 감쇠 특성
이진우 ,  Ryan Tung ,  A 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2009.11 학술대회자료

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A theoretical approach is carried out to predict the quality factors of flexible modes of a microcantilever on a squeeze-film. The frequency response function of an inertially-excited microcantilever beam is derived using an Euler-Bernoulli beam theory. The external force due to squeeze-film phenomenon is developed from the Reynolds equation. Slip boundary conditions are employed at the interfaces between the fluid and the structure to consider the gas rarefaction effect, and pressure boundary condition at both ends of fluid analysis region is enhanced to increase the exactness of predicted quality factors. To the end, an approximate equation is derived for the first bending mode of the microcantilever. Using the approximate equation, the quality factors of the second and third bending modes are calculated and compared with experimental results of previously reported work. The comparison shows the feasibility of the current approach.
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목차

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1. [단행본] - Rebeiz, G. M. / 2003 / RF MEMS Theory, Design, and Technology / John Wiley & Sons, Inc google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Czaplewski, D. A. / 2006 / A Soft-landing Waveform for Actuation of a Single-pole Singlethrow Ohmic RF MEMS Switch / Journal of Microelectromechanical Systems 15 (6) : 1586 ~ 1594 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Granaldi, A / 2006 / The Dynamic Response of Resistive Microswitches : Switching Time and Bouncing / Journal of Micromechanics and Microengineering 16 (7) : 1108 ~ 1115 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - 홍상혁 / 2010 / 적합직교분해법을 이용한 AFM 마이크로캔틸레버의 진동해석 / 한국소음진동공학회논문집 20 (4) : 414 ~ 421 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - Bao, M / 2007 / Squeeze Film Air Damping in MEMS / Sensors and Actuators A 136 (1) : 3 ~ 27 google schola

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